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科技成果转化公示〔2026〕26号——MEMS扫描镜及其在投影显示中的应用

来源:    作者:    发布时间:2026-06-04    阅读量:


根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定,对我校机械科学与工程学院王俊亚老师团队的“MEMS扫描镜及其在投影显示中的应用”成果转化相关事项公示如下:

一、成果名称及简介

成果包含6项知识产权:

(1)发明专利:一种新型延时锁相环高精度激光测距方法与系统

发明人:王俊亚,高博,尤政

专利号:ZL202510192853.8

专利权人:华中科技大学,湖北光谷实验室

简介:本发明属于激光测距技术领域,其公开了一种新型延时锁相环高精度激光测距方法与系统,该方法包括生成两路相同的m序列信号,一路信号传输到激光器,另一路信号发送到匹配滤波器;激光信号经过待测目标的反射,由探测器接收并转化为电信号,传输到匹配滤波器,作为回波信号;回波信号进行匹配滤波,匹配滤波的粗测结果发送到以sinc函数为模型的新型延迟锁相环,用原结果的峰值及峰值附近的四个点对sinc函数模型进行函数拟合,求解得到更精确的峰值坐标,即为精测距离值,该方法在不改变原系统硬件、构成的前提下,只通过数据处理就可以显著提高测距精度。

(2)发明专利:MEMS扫描微镜的驱动控制方法、装置、设备及介质

发明人:王俊亚,宋进武,魏绍堂,郭和祥,牧圣鹏,渠自强,尤政

申请号:CN202511646256.4

申请权人:华中科技大学,湖北光谷实验室

简介:本申请涉及微机电系统器件应用技术领域,特别涉及一种MEMS扫描微镜的驱动控制方法、装置、设备及介质,方法包括:根据当前MEMS扫描微镜在第一方向上的第一谐振频率和在第二方向上的第二谐振频率确定目标相位参数,并确定当前MEMS扫描微镜在第一方向上的第一目标相位和在第二方向上的第二目标相位;根据第一谐振频率和第一目标相位确定第一驱动信号,并根据第二谐振频率和第二目标相位确定第二驱动信号,基于第一驱动信号和第二驱动信号对当前MEMS扫描微镜进行驱动控制。由此,解决了现有光栅扫描方式扫描速度慢、抗振动冲击能力差、轨迹固定不灵活的问题,实现了MEMS扫描微镜高速、抗干扰且轨迹可灵活调控的高精度扫描

(3)发明专利:基于MEMS扫描微镜的激光投影成像方法及装置

发明人:王俊亚,宋进武,魏绍堂,郭和祥,牧圣鹏,渠自强,尤政

申请号:CN202511691974.3

申请权人:华中科技大学,湖北光谷实验室

简介:本申请涉及一种基于MEMS扫描微镜的激光投影成像方法及装置,其中,方法包括:根据第一谐振频率和第一相位确定第一正弦驱动信号波形,同理确定第二正弦驱动信号波形,通过向MEMS扫描微镜发送第一正弦驱动信号波形和第二正弦驱动信号波形,并基于MEMS扫描微镜、第一正弦驱动信号波形和第二正弦驱动信号波形生成李萨如扫描轨迹,根据待投影图像生成激光调制时序,从而根据激光调制时序控制激光器发出激光源,使得激光源通过MEMS扫描微镜反射到观测屏幕上得到投影图像。由此,解决了相关技术中投影技术分辨率受物理像素限制、且需庞大光学透镜组的问题,可以持续保证投影质量、实时性与高分辨率,并且具备体积小、功耗低的优势。

(4)发明专利:基于光波导芯片的MEMS扫描镜角度测量装置及方法

发明人:王俊亚,王楚,尤政

申请号:CN202510693604.7

申请权人:华中科技大学,湖北光谷实验室

简介:本申请涉及一种基于光波导芯片的MEMS扫描镜角度测量装置及方法,其中,装置包括:激光器,用于发射激光信号;信号发生器,用于生成四路同步正余弦信号,并将其中一路余弦信号发送至光波导芯片中;光波导芯片,用于将激光信号发射至MEMS扫描镜中,以得到反射光信号,基于其中一路余弦信号对参考臂对应的光信号进行相位调制,以得到调制光信号,并结合反射光信号生成两路干涉光信号;探测器,用于将两路干涉光信号转换为两路电信号;主控计算机,用于基于两路电信号和其他三路正余弦信号,进行偏转角度解调操作,以得到MEMS扫描镜对应的偏转角度,从而实现了MEMS扫描镜角度的集成化高精度测量。

(5)发明专利:一种MEMS扫描镜的制备方法

发明人:王俊亚,渠自强,丁小龙,尤政

申请号:CN202410212313.7

申请权人:华中科技大学,湖北光谷实验室

简介:本发明提供了一种MEMS扫描镜的制备方法,包括以下步骤:准备SOI晶圆;在SOI晶圆器件层的上表面依次生长底电极层、PZT压电薄膜层和顶电极层,并依次刻蚀,仅保留与第一压电驱动梁和第二压电驱动梁对应的底电极层、PZT压电薄膜层和顶电极层;整面生长金属层并刻蚀,仅保留与反射镜对应的金属层;刻蚀所述器件层,仅保留与可动框、反射镜、第一压电驱动梁和第二压电驱动梁对应的器件层;在所述SOI晶圆的底硅层和埋氧层上刻蚀背腔,以形成所述固定框。选用PZT材料作为压电驱动材料,由于PZT材料的压电系数高,压电性能好,能够使第一压电驱动梁和第二压电驱动梁能够产生较大的驱动力,从而能够使反射镜产生较大的偏转角度。

(6)发明专利:柔性OCT探头及其设计方法、OCT成像方法

发明人:王俊亚,渠自强,魏绍堂,王国栋,郭和祥,尤政

申请号:CN202511891129.0

申请权人:华中科技大学,湖北光谷实验室

简介:本申请涉及一种柔性OCT探头及其设计方法、OCT成像方法。该探头包括:柔性探头本体;封装于柔性探头本体的远端的集成式光束扫描装置,该装置用于基于激光光束进行偏转扫描,得到原始扫描数据;光学传导组件,光学传导组件用于将激光光束传输至集成式光束扫描装置,并接收集成式光束扫描装置回传的反射信号,且将反射信号传输至探测系统;测控电路,测控电路与集成式光束扫描装置电性连接,用于驱动集成式光束扫描装置偏转,并基于集成式光束扫描装置产生的反馈信号监测偏转角度。由此,通过将MEMS扫描镜集成至OCT探头内部,解决了体内诊疗中空间受限、视野不足的问题,缩小OCT探头尺寸的同时提升OCT探头成像质量。

二、拟交易价格

协议转让:83.5万元。

三、价格形成过程

学校委托评估公司对该项目进行资产评估,基于评估价参考,经全体发明人同意,并与共有权利人湖北光谷实验室协商,各方同意华中科技大学所占该成果的50%份额以协议定价83.5万元转让给常州玄镜微电子技术有限公司。

特此公示,公示期15日,自2026年6月4日起至2026年6月18日。如有异议,请于公示期内以书面形式实名向我院反映。

联系人:尹老师、庄老师

联系电话:87558732

科学技术发展院

2026年6月4日

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