根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定，对我校机械科学与工程学院陈蓉老师团队的“原子层沉积装置等一项发明专利和一项软件著作权”成果转化相关事项公示如下：

一、成果名称及简介

成果包含2项知识产权：

（1）发明专利：原子层沉积装置

发明人：陈蓉，邵华晨，刘潇，向俊任，李嘉伟，弋戈

专利号：ZL202110753358.1

专利权人：华中科技大学

简介：本发明涉及一种原子层沉积装置，反应室包括反应室主体与腔门，反应室主体的内部形成反应腔体，反应室主体上设有进气口与抽气口，腔门与反应室主体可拆卸连接；安装架与腔门固定连接，腔门与反应室主体连接时，安装架位于反应腔体的内部；第一承载件用于承载块状待包覆物，第一承载件与安装架可拆卸连接；第二承载件用于承载粉状待包覆物，第二承载件与安装架可拆卸连接；第一使用状态下，第一承载件与安装架固定连接；第二使用状态下，第二承载件与安装架连接，且驱动件与第二承载件连接，驱动件用于驱动第二承载件相对于安装架转动。该原子层沉积装置可以对不同类型的待包覆物进行沉积，适用范围更广。

（2）软件著作权：原子层沉积系统控制软件V1.0

设计人：陈蓉，宋光亮，刘潇，单斌

登记号：2018SR764422

著作权人：华中科技大学

简介：该软件实现了如下功能：与下位机PLC控制单元进行连接与通讯；对下位机控制对象的间接控制；显示设备的实时压力与温度曲线；对已有工艺的调用或对新的实验工艺的编写与保存；对反应过程温度与压力数据的保存与查看；对温度、电机转速与方向、数据记录选项等参数的设置、保存与应用等。该软件采用图形化语言编程，具有功能完善，界面简洁，提示完善，操作步骤简单等优点，方便初学者与实验室人员的使用。

二、拟交易价格

普通许可：50万元。

三、价格形成过程

经全体发明人同意，并与无锡华科大智能装备科技有限公司协商，双方同意以50万元实施普通许可，许可期限为9年。

特此公示，公示期15日，自2024年11月6日起至2024年11月20日。如有异议，请于公示期内以书面形式实名向我院反映。

联系人：尹老师、徐老师

联系电话：87558732

科学技术发展院

2024年11月6日