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科技成果转化公示〔2024〕47号——一种薄膜膜厚分布快速测量方法、系统及计算机可读存储介质等三项发明专利

来源:    作者:    发布时间:2024-10-18    阅读量:


根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定,对我校机械科学与工程学院朱金龙老师团队的“一种薄膜膜厚分布快速测量方法、系统及计算机可读存储介质等三项发明专利”成果转化相关事项公示如下:

一、成果名称及简介

成果包含3项知识产权:

(1)发明专利申请:一种薄膜膜厚分布快速测量方法、系统及计算机可读存储介质

发明人:朱金龙;于哲;李泽迪

申请号:202410899250.7

申请权人:华中科技大学

简介:提供了一种薄膜膜厚分布快速测量方法、系统及计算机可读存储介质,用以解决现有技术关于多重反射和吸收材料消光系数的限制问题。

(2)发明专利申请:一种高速光学相位测量系统、测量方法及其应用

发明人:朱金龙;李泽迪

申请号:CN202311726067.9

申请权人:华中科技大学

简介:解决了半导体显微测量中,分辨率和视场大小不可兼得的问题,实现了在与通用的明场显微同等分辨率的条件下无限拓展视场的能力。

(3)美国专利申请:High-speed optical phase measurement system, measurement method and application thereof

发明人:朱金龙;李泽迪

申请号:18757371

申请权人:华中科技大学

简介:解决了半导体显微测量中,分辨率和视场大小不可兼得的问题,实现了在与通用的明场显微同等分辨率的条件下无限拓展视场的能力。(该专利为序号2专利的涉外专利)。

二、拟交易价格

协议转让:30万元。

三、价格形成过程

学校委托评估公司对该项目进行资产评估,评估价值为30万元。经全体发明人同意,并与武汉智能装备工业技术研究院有限公司协商,双方同意以协议定价30万元实施转让。

特此公示,公示期15日,自2024年10月18日起至2024年11月1日。如有异议,请于公示期内以书面形式实名向我院反映。

联系人:尹老师、徐老师

联系电话:87558732

科学技术发展院

2024年10月18日

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