根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定，对我校机械科学与工程学院陈蓉老师团队的“原子层沉积装置等两项发明专利和一项软件著作权”成果转化相关事项公示如下：

一、成果名称及简介

成果包含3项知识产权：

（1）发明专利：原子层沉积装置

发明人：陈蓉；邵华晨；刘潇；向俊任；李嘉伟；弋戈

专利号：ZL202110753358.1

专利权人：华中科技大学

简介：本发明涉及一种原子层沉积装置，反应室包括反应室主体与腔门，反应室主体的内部形成反应腔体，反应室主体上设有进气口与抽气口，腔门与反应室主体可拆卸连接；安装架与腔门固定连接，腔门与反应室主体连接时，安装架位于反应腔体的内部；第一承载件用于承载块状待包覆物，第一承载件与安装架可拆卸连接；第二承载件用于承载粉状待包覆物，第二承载件与安装架可拆卸连接；第一使用状态下，第一承载件与安装架固定连接；第二使用状态下，第二承载件与安装架连接，且驱动件与第二承载件连接，驱动件用于驱动第二承载件相对于安装架转动。该原子层沉积装置可以对不同类型的待包覆物进行沉积，适用范围更广。

（2）发明专利：一种真空环境更换样品装置

发明人：陈蓉；完颜剑峰；单斌；曹坤；熊英飞

专利号：ZL201910147919.6

专利权人：华中科技大学

简介：本发明属于真空分析设备领域，并公开了一种真空环境更换样品装置，该装置包括换样台、阀座和密封单元，其中换样台用于放置和更换样品；阀座中第一反应室设有通孔用于与第一腔室连通，并通过第一阀芯的移动实现第一通道的打开和闭合，样品室用于放置换样台，第二反应室设有通孔用于与第二腔室连通，并通过第二阀芯的移动实现第二通道的打开和闭合；密封单元用于与阀座相互配合隔绝外界空气。本发明通过第一阀芯和第二阀芯可以在不影响第一腔室和第二腔室真空环境的条件下，实现样品的更换，并且更换样品后打开第一通道和第二通道即可使样品处于工作环境中，节约了重新获得工作环境的时间。

（3）软件著作权：原子层沉积系统控制软件V1.0

设计人：陈蓉；宋光亮；刘潇；单斌

登记号：2018SR764422

著作权人：华中科技大学

简介：该软件实现了如下功能：与下位机PLC控制单元进行连接与通讯；对下位机控制对象的间接控制；显示设备的实时压力与温度曲线；对已有工艺的调用或对新的实验工艺的编写与保存；对反应过程温度与压力数据的保存与查看；对温度、电机转速与方向、数据记录选项等参数的设置、保存与应用等。该软件采用图形化语言编程，具有功能完善，界面简洁，提示完善，操作步骤简单等优点，方便初学者与实验室人员的使用。

二、拟交易价格

普通许可：100万元。

三、价格形成过程

经全体发明人同意，并与无锡华科大智能装备科技有限公司协商，双方同意以100万元实施普通许可，许可期限为10年。

特此公示，公示期15日，自2024年9月27日起至2024年10月11日。如有异议，请于公示期内以书面形式实名向我院反映。

联系人：杨老师、徐老师

联系电话：87558732

科学技术发展院

2024年9月27日