根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定，对我校机械科学与工程学院陈蓉老师团队的“一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置等三项发明专利”成果转化相关事项公示如下：

一、成果名称及简介

成果包含3项知识产权：

（1）发明专利：一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置

发明人：陈蓉；段晨龙；刘潇；曹坤；邓章；单斌；文艳伟

专利号：ZL201310364445.3

专利权人：华中科技大学

简介：本发明公开了一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置，该方法的特征在于，在前驱体的吸附过程中引入了流化气，利用流化气吹散粉体，实现粉体的充分分散。该装置包括反应腔体，供应系统，真空系统，加热系统，监测系统和控制系统，其特征在于，供应系统包括流化气源，流化气通过流化气输送支路进入反应腔体，用于将粉体吹散到整个反应区域。本发明的方法与装置能有效提高粉体包覆率与沉积均匀性，并使得在每次沉积过程中对大量粉体进行包覆成为可能，提高了粉体包覆的效率。

（2）发明专利：一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置

发明人：陈蓉；何文杰；褚波；高玉乐；单斌；文艳伟

专利号：ZL201310636874.1

专利权人：华中科技大学

简介：本发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头，包括进气管路、进气口和出气口；所述进气口内部为空腔；所述出气口内部形成空腔，分为上半部分和下半部分，其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结构；进气管路与进气口固定连接，进气口与出气口可拆卸密闭连接。用于制作原子层沉积膜的装置，包括所述喷头、腔体支撑架、基片承载台和运动平台，腔体支撑架中间形成长条状镂空，可顺序设置多个可拆卸喷头，基片承载台设置在墙体支撑架下方，运动平台带动基片承载台。

（3）发明专利：一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法

发明人：陈蓉；邓章；段晨龙；单斌；文艳伟

专利号：ZL201310583654.7

专利权人：华中科技大学

简介：本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。

二、拟交易价格

普通许可：100万元。

三、价格形成过程

经全体发明人同意，并与无锡华科大智能装备科技有限公司协商，双方同意以100万元实施普通许可，许可期限为10年。

特此公示，公示期15日，自2024年9月27日起至2024年10月11日。如有异议，请于公示期内以书面形式实名向我院反映。

联系人：杨老师、徐老师

联系电话：87558732

科学技术发展院

2024年9月27日