根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定，对机械科学与工程学院陈蓉团队“大幅面空间隔离型原子层沉积技术”成果转化相关事项公示如下：

一、成果名称及简介

该成果包含如下3项知识产权：

（1）发明专利：一种原子层沉积前驱体输出装置

专利号：ZL201310585179.7

发明人：陈蓉，邓章，曹坤，单斌，文艳伟

简介:本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由装载前驱体的钢瓶），缓存腔，连接所述钢瓶与缓存腔的第一开关阀，位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞，以及控制输出主管路的第二开关阀构成。本发明通过固定空间的气体体积变化，每次稳定的排出等量前驱体，保证定量输出前驱体，能够更好的适应于前驱体用量优化分析及在线监测系统分析。

（2）发明专利：一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法

专利号：ZL201310583654.7

发明人：陈蓉，邓章，段晨龙，单斌，文艳伟

简介：本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。

（3）发明专利：一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置

专利号：ZL201710336412.6

发明人：陈蓉，王晓雷，单斌，李云，林骥龙，马玉春，但威

简介：本发明公开了一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置。模块化喷头包括：前驱体通道组件、密封组件；前驱体通道组件包括板状基体、前驱体通道、气体管路；前驱体通道布置于板状基体正面，自上而下延伸，前驱体通道的顶端连通气体管路；密封组件设于板状基体正面，用于对前驱体通道进行密封，防止前驱体泄露。本发明的模块化喷头，由多个部件构成整体模块，并且通过前躯体通道对喷入的气体进行分流和缓冲，实现沉积均匀，且可以根据实际需求选取任意数量进行组合。本发明的装置包括多个模块化喷头，以一定的间隔排列，分别通入氧化物前驱体源和金属前驱体源，使得基底在前驱体单元下运动一个来回沉积多层薄膜，大大提高了薄膜沉积效率。

二、拟交易价格

普通许可：500万许可费+按销售总额的5%提成（若利润分配占设备销售利润40%以上，则双方可针对该分配另行协商，但不得低于总销售额的3%）

三、价格形成过程

经全体发明人同意，并与苏州晟成光伏设备有限公司协商，双方同意该成果以协议定价500万元实施许可，期限10年。

特此公示，公示期15日，自2022年6月16日起至2022年6月30日。如有异议，请于公示期内以书面形式实名向我院反映。

联系人：谭老师、曹老师

联系电话：87558732

科学技术发展院

2022年6月16日